半導體行業
半導體行業對生產設備的要求非常高,需要高精度控制、高一致性、高可靠性,以超精密的方式進行納米級別芯片的生產,這給設備制造商帶來了獨特的挑戰??浦Z致力于為中國半導體產業升級貢獻自己的力量,研發生產出了高精度智能化電源,目前科諾生產的一拖二高精度IGBT感應加熱電源已大量應用于常壓化學氣相沉積(APCVD)領域,高精度射頻電源應用于等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)領域,高精度IGBT感應加熱電源已出口臺灣地區,廣泛應用于碳化硅晶體生長、半導體氧化擴散(Oxide/Diff)等領域。
一拖二高精度IGBT感應加熱 碳化硅晶體生長電源